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DL -550 型真空鍍膜-壓合機
產品圖片
技術參數
產品優勢
產品圖片
技術參數
真空室形式
真空室形式為分體式結構
箱體尺寸
箱式前開門、內腔尺寸約Φ550×620mm,SUS304材料
極限真空
3.0×10
-4
Pa
恢復真空度
大氣→3×10
-3
Pa≤15min
真空系統配置
分子泵、直聯泵、閥門及管道
真空系統測量
數字顯示自動真空測量儀(電阻規+金屬電離規)
系統操作(觸摸屏)
自動PLC/手動
上、下機票設計為自動定位,上片自動夾持
蒸發源
電阻蒸發源及其他相關件組成
產品優勢
該設備專門為晶體行業設計及制造,用于各類晶體在高真空狀態下的壓封及組合(真空壓合),可一次性完成鍍膜-壓封,將兩片晶體緊密地粘接;真空系統采用分子泵+直聯泵。
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真空鍍膜科技!
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